लैम रिसर्च विशेष रूप से एचबीएम के लिए टीएसवी उपकरण की आपूर्ति करता है जैसे कि सैमसंग जैसे मूल निर्माताओं को
सेमीकंडक्टर उपकरण आपूर्तिकर्ता लैम रिसर्च विशेष रूप से टीएसवी (सिलिकॉन के माध्यम से) इचिंग उपकरण सिंक्रोन और एम्बेडिंग उपकरण कृपाण 3 डी को सैमसंग इलेक्ट्रॉनिक्स और एसके हीनिक्स के लिए, एचबीएम उत्पादन के लिए दोनों की आपूर्ति कर रहा है।एचबीएम इनपुट/आउटपुट (I/O) के विस्तार के साथ, यह उम्मीद की जाती है कि इन दोनों उपकरणों की बाजार की मांग भविष्य में और बढ़ जाएगी।
एलएएम रिसर्च के अनुसार, कंपनी विशेष रूप से सैमसंग इलेक्ट्रॉनिक्स और एसके हीनिक्स को टीएसवी नक़्क़ाशी और जड़ना उपकरण की आपूर्ति कर रही है।दोनों प्रकार के उपकरणों का उपयोग एचबीएम वेफर्स के माइक्रो होल कॉपर प्लेटिंग फिलिंग के लिए किया जाता है।सीधे शब्दों में कहें, यह एचबीएम सिग्नल ट्रांसमिशन के लिए इस्तेमाल किया जाने वाला प्री वायरिंग काम है।
सैमसंग इलेक्ट्रॉनिक्स और एसके हीनिक्स टीएसवी नक़्क़ाशी के लिए उनके उपकरण के रूप में सिंसियन का उपयोग करते हैं।Syntheon एक प्रतिनिधि गहरी सिलिकॉन नक़्क़ाशी उपकरण है जो TSV और GROOVES जैसे उच्च पहलू अनुपात सुविधाओं के निर्माण के लिए वेफर के इंटीरियर में गहराई से खोद सकता है।लैम रिसर्च सबर 3 डी का उपयोग TSV वायरिंग बनाने के लिए किया जाता है, जो तांबे के साथ etched वेफर छेद भरकर वायरिंग बनाने की एक विधि है।फिर, एचबीएम को केमिकल मैकेनिकल पॉलिशिंग (सीएमपी), वेफर बैक पीस, कटिंग और चिप स्टैकिंग के माध्यम से उत्पादित किया जाता है।
यह पूछे जाने पर कि बैकएंड प्रोसेस फील्ड को किस तरह के उपकरण प्रदान करने के लिए, एलएएम रिसर्च के एक वरिष्ठ अधिकारी ने कहा कि हम सैमसंग इलेक्ट्रॉनिक्स और एसके हीनिक्स को सिंसियन और कृपाण 3 डी उपकरण (एचबीएम उपकरण के लिए) की आपूर्ति करने में विशेषज्ञ हैं।और यह कहा जाता है कि लागू सामग्री जैसे प्रतियोगी बाजार में प्रवेश करने की तैयारी कर रहे हैं, लेकिन अभी तक लैम रिसर्च एकमात्र आपूर्तिकर्ता है।
सैमसंग इलेक्ट्रॉनिक्स और एसके हीनिक्स के एचबीएम रोडमैप के अनुसार, 2026 में जारी किए जाने वाले एचबीएम 4 का विस्तार I/O का विस्तार I/O तक 2048 तक करेगा। यह संख्या HBM3 के वर्तमान उत्पादन से दोगुना है, इसलिए यह उम्मीद है कि इन दोनों के लिए बाजार की मांग है।भविष्य में उपकरण आगे बढ़ेंगे।
लैम रिसर्च ने हाल ही में दक्षिण कोरिया के चेओनन में एक कार्यालय खोला।एलएएम रिसर्च के एक वरिष्ठ कार्यकारी ने कहा कि हमारी ग्राहक कंपनी के एचबीएम उपकरणों की प्रतिक्रिया के जवाब में, हमने हाल ही में तियानियन शहर में एक कार्यालय खोला है।हालांकि, उपकरण विदेशी उत्पादन ठिकानों पर उत्पादित किया जाता है।